表面成型设备和获得数据方法，数据处理设备及其相关器

摘要

沿采样路径(SP)朝向样品表面(7)并且沿参考路径(RP)朝向参考表(6)引导来自于宽带源的光线，如此使得样品表面区域反射的光线与参考表面反射的光线相干涉。移动器(11)在样品表面(7)和参考表面(6)之间沿扫描路径实现相对移动。检测器(10)以一定间隔感测光强以便提供一系列强度值，其表示样品表面区域产生的干涉条纹。数据处理器具有当前处理部件(34a；340)，用于在测量操作期间当接收装置接收到强度值时对强度值执行处理，以便产生表明相干峰值位置的数据，以及后续处理部件(34b；350)，在完成测量操作之后，使用由并行部件产生的数据来获得表明表面区域高度的数据。其中一个处理部件具有相关器(44；440)，用于将强度值与表示相关函数的相关函数数据相关，以便提供相关数据来识别相干峰值的位置。所述后续处理部件具有表面形貌确定器(35；350)，用于根据相干峰值位置数据来确定样品表面区域的高度。

主权项

权利要求书1.用于获得样品表面的表面轮廓数据的表面成型设备，所述设备包括：光线引导装置，用于沿采样路径朝向样品表面区域引导光线，并且沿参考路径朝向参考表面引导光线，如此使得样品表面区域反射的光线和参考表面反射的光线发生干涉；移动装置，用于在样品表面和参考表面之间沿测量路径实现相对移动；传感装置，用于感测表示在所述相对移动期间，样品表面区域生成的干涉条纹的光线；控制装置，用于当所述传感装置以一定间隔感测光强以便提供一系列强度值时，令所述移动装置实现所述相对移动来执行测量操作，其中所述强度值表示在所述相对移动期间、样品表面区域生成的干涉条纹；以及数据处理装置，用于处理所述强度值，所述数据处理装置包括：接收装置，用于在测量操作期间接收来自于传感装置的强度值；第一处理装置，用于当在测量操作期间由接收装置接收到强度值时、对强度值执行处理，以便生成表明相干峰值位置的数据；以及第二处理装置，用于在完成测量操作之后，使用第一处理装置生成的数据来获得表示表面区域高度的数据，其中第一和第二处理装置的其中一个包括：相关装置，用于将强度值与表示相关函数的相关函数数据相关，以提供所述样品表面区域的相关数据，以便能够识别样品表面区域的强度值中的相干峰值的位置；以及第二处理装置包括表面高度确定装置，用于根据与相干峰值位置相关的数据来确定样品表面区域的高度。