发明名称 |
波导型光控制元件及其制造方法 |
摘要 |
一种波导型光控制元件,具有:光波导,其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成;控制用电极,其接触或接近于光波导而被设置,并且,光波导的传播损耗在波长为1.3~1.6μm时为1dB/cm以下,其特征在于,由其载流子电子浓度为5.5×10<SUP>20</SUP>个/cm<SUP>3</SUP>以下、且电阻率在9.5×10<SUP>-4</SUP>Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极,而且导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。 |
申请公布号 |
CN1977210A |
申请公布日期 |
2007.06.06 |
申请号 |
CN200580022037.3 |
申请日期 |
2005.06.29 |
申请人 |
住友金属矿山株式会社 |
发明人 |
阿部能之;森宏;寺岛彰 |
分类号 |
G02F1/035(2006.01);G02F1/01(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/035(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
高龙鑫 |
主权项 |
1.一种波导型光控制元件,具有:光波导,其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成;控制用电极,其接触或接近于光波导而被设置,并且,在波长为1.3~1.6μm时的上述光波导的传播损耗为1dB/cm以下,其特征在于,由载流子电子浓度为5.5×1020个/cm3以下、且电阻率为9.5×10-4Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极的同时,导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。 |
地址 |
日本东京都 |