发明名称 波导型光控制元件及其制造方法
摘要 一种波导型光控制元件,具有:光波导,其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成;控制用电极,其接触或接近于光波导而被设置,并且,光波导的传播损耗在波长为1.3~1.6μm时为1dB/cm以下,其特征在于,由其载流子电子浓度为5.5×10<SUP>20</SUP>个/cm<SUP>3</SUP>以下、且电阻率在9.5×10<SUP>-4</SUP>Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极,而且导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。
申请公布号 CN1977210A 申请公布日期 2007.06.06
申请号 CN200580022037.3 申请日期 2005.06.29
申请人 住友金属矿山株式会社 发明人 阿部能之;森宏;寺岛彰
分类号 G02F1/035(2006.01);G02F1/01(2006.01) 主分类号 G02F1/035(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 高龙鑫
主权项 1.一种波导型光控制元件,具有:光波导,其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成;控制用电极,其接触或接近于光波导而被设置,并且,在波长为1.3~1.6μm时的上述光波导的传播损耗为1dB/cm以下,其特征在于,由载流子电子浓度为5.5×1020个/cm3以下、且电阻率为9.5×10-4Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极的同时,导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。
地址 日本东京都