一种基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜及其制造方法

摘要

一种基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜及其制造方法，涉及一种光学透镜，尤其是涉及一种具有聚焦和准直功能的波长级大小甚微光学透镜及制法。提供一种在微光学领域实现聚焦和(或)准直功能的只具有波长级尺寸大小的基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜及制造方法。设有金属膜，金属膜上设有至少1个通孔，在金属膜底面设有支撑台。在金属膜底面可设有透明介质衬底，或在金属膜底面与支撑台之间设有透明介质衬底夹层。制造时在透明介质衬底上用光刻法形成要作孔隙结构的厚光刻胶反图案；在衬底上从上往下淀积金属膜；去掉光刻胶，在衬底上制作成金属孔隙或金属孔隙阵列。可实现透镜元件小型化、器件间能量转换的高效化及其它利用微光束进行操作的用途。

主权项

1.一种基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜，其特征在于设有金属膜，金属膜上设有至少1个通孔，在金属膜底面设有支撑台。