真空抽吸回路和装配有这样的真空抽吸回路的容器处理机器

摘要

本发明涉及真空抽吸回路(14)，其包括：上腔(34)和一下腔(36)，它们通过一连接孔(38)连通。且包括一阀(40)，其具有一杆(48)，为了关闭所述连接孔(38)，可导引所述阀，使得它沿着一垂直轴线(A1)滑动，其特征在于：所述阀杆(48)设有形成一活塞(52)的部段，所述部段构成一控制腔(54)的活动上壁，所述控制腔与所述上腔(34)连通，所述活塞(52)具有一始终处于大气压下的上表面(56)和一压力为所述控制腔(54)的压力的下表面(58)。本发明还提供装配有这种抽吸回路的机器。

主权项

1.容器(2)处理机器的真空抽吸回路(14)，所述容器处理机器通过借助于微波等离子体沉积一形成屏障的内覆层的方式处理容器，其包括：-一上腔(34)和一下腔(36)，它们通过一连接孔(38)连通，所述下腔(36)连接到一空腔(20)，所述上腔(34)连接到一真空泵(28)，所述真空泵设计成：抽吸所述空腔(20)直到所述空腔(20)内的压力到达一称为终值(pFext)的特定值为止，-并且包括一阀(40)，其在一闭合的下部轴向位置和一打开的上部轴向位置之间、在所述上腔(34)的上部横向壁(46)的对应开口(44)内、沿着一基本垂直的轴线(A1)滑动地被导引，其中，在所述闭合的下部轴向位置，所述阀(40)的头部(42)关闭所述连接孔(38)，且所述阀(40)具有一轴向向上延伸出所述上腔(34)的杆(48)，所述阀的杆(48)连接到能够控制所述阀(40)至少朝向其打开位置的装置(50)，其特征在于：所述阀杆(48)设有形成一活塞(52)的部段，所述部段构成一控制腔(54)的活动上壁，所述控制腔与所述上腔(34)连通，所述活塞(52)具有一始终处于大气压下的上表面(56)和一承受所述控制腔(54)充斥的压力的下表面(58)，从而，当所述下腔(36)内的压力达到终值(pFext)时，通过在所述活塞(52)的两个表面(56、58)之间的压力差的作用使所述阀(40)保持在闭合位置。