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发明名称 Method of fabrication of electronic devices using microfluidic channels
摘要
申请公布号 EP1422766(A3) 申请公布日期 2007.06.06
申请号 EP20030026733 申请日期 2003.11.21
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 CHABINYC, MICHAEL L.;WONG, WILLIAM S.;STREET, ROBERT A.;PAUL, KATERI E.
分类号 G03F7/20;H01L51/00;H01L21/336;H01L27/28;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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