| 发明名称 | 用于产生球面像差信号误差的方法以及系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种方法和系统，其包括：－分别根据辐射束横截面的第一以及第二区域中的辐射获得第一焦点误差信号(FES<SUB>n，I</SUB>)以及第二焦点误差信号(FES<SUB>n，2</SUB>)的检测器，－用于从所述第一焦点误差信号(FES<SUB>n，I</SUB>)中减去第二焦点误差信号(FES<SUB>n，2</SUB>)来产生球面像差信号(SAES<SUB>n</SUB>)的处理装置，－依据上述公式产生所述第二焦点误差信号(FES<SUB>n，2</SUB>)的处理装置，其中α是参数，A<SUB>2</SUB>、B<SUB>2</SUB>、C<SUB>2</SUB>与D<SUB>2</SUB>包括从位于所述的相应的第二区域的多个辐射检测部分得到的输出信号。 | ||
| 申请公布号 | CN1977321A | 申请公布日期 | 2007.06.06 |
| 申请号 | CN200580021885.2 | 申请日期 | 2005.06.22 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | S·斯塔林加;J·弗里汉 |
| 分类号 | G11B7/09(2006.01);G11B7/13(2006.01) | 主分类号 | G11B7/09(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;梁永 |
| 主权项 | 1、一种系统，包括：-用于分别根据辐射束横截面的第一以及第二区域中的辐射获得第一焦点误差信号(FESn，1)以及第二焦点误差信号(FESn，2)的检测器，-用于从所述第一焦点误差信号(FESn，1)中减去第二焦点误差信号(FESn，2)来产生球面像差信号(SAESn)的处理装置，-用于依据以下公式来产生所述第二焦点误差信号(FESn，2)的处理装置：<math> <mrow> <msub> <mi>FES</mi> <mrow> <mi>n</mi> <mo>,</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msub> <mo>=</mo> <mi>α</mi> <mo>[</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>A</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>B</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <mrow> <msub> <mi>A</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>B</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>+</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>C</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>D</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <mrow> <msub> <mi>C</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>D</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>]</mo> </mrow> </math> 其中α是参数，A2、B2、C2与D2包括从位于所述第二区域的多个辐射检测部分得到的输出信号。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||