发明名称 |
七轨式高速质量分离式XY工作台 |
摘要 |
本实用新型公开了一种七轨式高速质量分离式XY工作台,包括工作台基座和主工作面板,其中,所述基座沿X向和Y向各自设有两条平行导轨,基座上还分别设有可沿X向平行导轨移动的X向基板和可沿Y向平行导轨移动的Y向基板,所述Y向基板上还沿X向设有两条可供主工作面板沿X向移动的平行导轨,此外,在所述X向基板上还沿Y向设有一根单导轨,主工作面板通过连接机构与该导轨之配合实现沿Y向的移动。本实用新型既克服了传统四轨式工作台的负载过重导致速度和精度较低的缺陷,又克服了五轨式工作台的Y向加工精度影响X向工作精度的缺陷,其速度最高可达十个2mm循环,精度保证到一微米,XY夹角可保证误差在30秒以内,XY轴可保证同样的寿命。 |
申请公布号 |
CN2908017Y |
申请公布日期 |
2007.06.06 |
申请号 |
CN200620013048.7 |
申请日期 |
2006.04.26 |
申请人 |
深圳市翠涛自动化设备有限公司 |
发明人 |
李蔚然 |
分类号 |
B23Q1/60(2006.01);H01L21/56(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
B23Q1/60(2006.01) |
代理机构 |
北京邦信阳专利商标代理有限公司 |
代理人 |
刘曾剑;高之波 |
主权项 |
权利要求书1.一种七轨式高速质量分离式XY工作台,包括工作台基座和主工作面板,其特征在于:所述基座沿X向和Y向各自设有两条平行导轨,基座上还分别设有可沿X向平行导轨移动的X向基板和可沿Y向平行导轨移动的Y向基板,所述Y向基板上还沿X向设有两条可供主工作面板沿X向移动的平行导轨,此外,在所述X向基板上还沿Y向设有一根单导轨,主工作面板通过连接机构与该导轨之配合实现沿Y向的移动。 |
地址 |
518055广东省深圳市南山区西丽镇众冠第二工业区一栋四楼东 |