用于制造面板的装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时，即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时，上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制，因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以，这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时，减少了清洗设备所需花费的功夫，提高了生产效率。

主权项

1.一种面板制造装置，该面板制造装置(11)在处理室(31)内，通过密封材料(3、3a)将第一基板(W1)和第二基板(W2)贴合从而制造面板(P1)，其特征在于包括：第一保持部(53)，配置于所述处理室内，保持所述第一基板；第二保持部(44)，在所述处理室内配置于所述第一保持部的对面，保持所述第二基板，并且通过相对移动来接近或离开所述第一保持部；间隔形成块(61)，在通过将所述第二保持部接近所述第一保持部从而使第一保持部和第二保持部贴合时，将所述第一保持部和第二保持部之间的间隔限定为规定的间隔。