| 摘要 |
<p>Das von einer Lampe (1) ausgehende Licht beaufschlagt das Messobjekt unter 90°. Das von diesem remittierte Licht wird unter 45° mittels einer Ringspiegel-Optik (3-6) gesammelt und mittels zweier farbselektiver Interferenzspiegel (7, 8) in die drei Farbanteile Blau, Rot und Grün aufgespalten. Die drei Farbanteile gelangen dann über weitere Filter (9-11) und je einen Aplanaten (12) auf je eine Siliziumplanar-Fotodiode (13). Zur Ausblendung des von der Oberfläche des Messobjekts direkt reflektierten Lichts sind zwei gekreuzte Linearpolarisatoren (141a, 142a) in den Strahlengang eingefügt. Um Schwierigkeiten mit den auf die Polarisationsrichtung der sie beaufschlagenden Lichts empfindlichen Interferenzspiegeln (7, 8) zu vermeiden, ist der im Abbildungsstrahlengang befindliche Linearpolarisator (142a) auf seiner Rückseite mit einer λ/4-Schicht (b) bedampft, welche eine Zirkularpolarisation des den Spiegeln (7, 8) zugeführten Lichts bewirkt.</p> |
