发明名称 REACTION CHAMBER FOR AN EPITAXIAL REACTOR
摘要
申请公布号 KR100724876(B1) 申请公布日期 2007.06.04
申请号 KR20017010716 申请日期 2001.08.23
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;C30B25/08 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址