Nozzle for Injecting Sublimable Solid Particles Entrained in Gas for Cleaning Surface and Method for Cleaning Surface using the Nozzle,申请号KR20040114260-传众专利搜索

发明名称	Nozzle for Injecting Sublimable Solid Particles Entrained in Gas for Cleaning Surface and Method for Cleaning Surface using the Nozzle
摘要
申请公布号	KR100725242(B1)	申请公布日期	2007.06.04
申请号	KR20040114260	申请日期	2004.12.28
申请人		发明人
分类号	B08B7/00;H01L21/304;B05B7/04;B05B7/14;B24B1/00;B24C1/00;B24C5/04	主分类号	B08B7/00
代理机构		代理人
主权项
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