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发明名称 HEATER, APPARATUS FOR HEATING WAFER AND PROCESS FOR PRODUCING THE HEATER
摘要
申请公布号 KR100725123(B1) 申请公布日期 2007.06.04
申请号 KR20050091400 申请日期 2005.09.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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