制备薄氮化锆涂层之方法

摘要

叙述一种产生氮化锆涂层的制程，是藉着反应性气体在基材表面的CVD(化学蒸气沉积)方法；ZrN涂层及其用途。在该制程中，肆(二烷基醯胺)锆具有通式为：Zr(NR1R2)4其中使用R1及R2代表相同或不同之直链或有分支的C1至C4烷基基团为Zr的前趋物，并且联氨具有通式：H2N-NR3R4其中使用R3代表直链或有分支的C1至C4烷基基团、及R4独立代表C1至C4烷基基团或H作为反应性气体。