于模具上形成多层镀膜之装置及方法

摘要

本发明涉及一种于模具上形成多层膜之装置及方法。该形成多层膜之方法利用不同之靶材依次于模具上用交流磁控溅镀法形成一过渡层、一含氮类钻碳层、一含氮氢类钻碳层及一含氢类钻碳层，该过渡层包括一奈米黏结层及一奈米中间层。该制备多层镀膜之装置利用多个溅镀腔，可连续进行镀膜。使用本发明之装置及方法，可快速得膜层不易脱落，磨擦系数低，耐磨性佳，抗腐蚀性强之镀膜。