流量量测装置及其制造方法

摘要

本发明系提出一种量测装置，用以量测一流体之一流量，该量测装置包括一基座、一流道、及至少二电子电路，其中该流道设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少二截面；以及该至少二电子电路，分别与该至少二截面电性连接，该至少二电子电路系侦测对应之该至少二截面之讯号变化，再据以计算该流体之该流量。该种量测装置系利用一微电子机械系统制程制备。