微空腔之微机电系统装置及其制造方法

摘要

兹描述一种微机电(MEM)切换器，此者在微空腔内具有一自由移动构件，并且是由至少一感应构件所导引。该切换器含有一上部感应线圈；一选择性下部感应线圈，各者具有一最好是由高导磁合金所制成的金属核芯；一微空腔；以及一最好是磁性材料所制成的自由移动切换构件。可透过该上部线圈藉由传通一电流，而在该线圈构件内感应出一磁场来进行切换作业。该磁场将该自由移动磁性构见吸引朝上，将两条开放线路短路，并因此关闭该切换器。当该电流停止流动或逆反时，该自由移动磁性构件即藉由重力而落下至该微空腔的底部处，并且线路开放。当该晶片未以正确指向架置时，无法运用重力。在此情况下，即需要一下部线圈，藉以将该自由移动切换构件拉回，并将其握固在其原始位置处。