摘要 |
本发明提供单层复晶矽P通道非挥发性记忆体的操作方法,该单层复晶矽P通道非挥发性记忆体包含有一N型井;一闸极,设于该N型井上;一闸极介电层,介于该闸极与该N型井之间;一ONO侧壁子,设于该闸极之一侧壁上,其中该ONO侧壁子包含有一第一矽氧层,设于该侧壁上,并延伸至该N型井上,以及一氮化矽层,用来作为一电荷捕陷层,设于该第一矽氧层上;一P+汲极掺杂区,设于该ONO侧壁子一侧的该N型井中,使其N型掺杂区与P型掺杂区交界在该ONO侧壁子下方;及一P+源极掺杂区,相对于该P+汲极掺杂区,设于该ONO侧壁子另一侧的该N型井中。 |