发明名称 单层复晶矽非挥发性记忆体的操作方法
摘要 本发明提供单层复晶矽P通道非挥发性记忆体的操作方法,该单层复晶矽P通道非挥发性记忆体包含有一N型井;一闸极,设于该N型井上;一闸极介电层,介于该闸极与该N型井之间;一ONO侧壁子,设于该闸极之一侧壁上,其中该ONO侧壁子包含有一第一矽氧层,设于该侧壁上,并延伸至该N型井上,以及一氮化矽层,用来作为一电荷捕陷层,设于该第一矽氧层上;一P+汲极掺杂区,设于该ONO侧壁子一侧的该N型井中,使其N型掺杂区与P型掺杂区交界在该ONO侧壁子下方;及一P+源极掺杂区,相对于该P+汲极掺杂区,设于该ONO侧壁子另一侧的该N型井中。
申请公布号 TW200721462 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW095100665 申请日期 2006.01.06
申请人 力旺电子股份有限公司 发明人 林崇荣;陈信铭;沈士杰;金雅琴;徐清祥
分类号 H01L27/115(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 新竹市科学工业园区力行一路12号3楼