具有桥接之顶表面和侧壁的内连线结构与其制造方法

摘要

一种内连线结构与其制造方法。其系利用位于半导体基材之主动区上并与其相邻之内连线。闸极电极亦形成于主动区上。间隙壁层系形成在紧邻于内连线与闸极电极的位置。去除紧邻于内连线的间隙壁层，而形成桥接矽化导体层来桥接内连线之顶表面和侧壁表面至主动区之一表面。