可批次制造垂直式探针卡微孔导板之方法

摘要

一种可批次制造垂直式探针卡微孔导板之方法，包含有以下步骤：取一非金属材料之薄板；于该薄板上布设一具备预定态样及数量开孔之遮蔽层；以非等向性乾蚀刻将对应该开孔位置之薄板蚀刻出预定深度之盲孔；利用背面薄化技术研磨薄板，使其盲孔成为贯通之微孔；去除该遮蔽层；即可得微孔导板。