奈米级半导体处理用之无气泡液体的产生系统与方法

摘要

一种无气泡液体产生系统包含一连续液体源及一除气泡室。该除气泡室包含一出口及一入口。该入口藉由一供给管线连接至至该连续式液体源的一出口。该除气泡室亦包含该除气泡室之侧壁中的至少一开口。该至少一开口自该除气泡室之该入口起算具有长度至少L。本发明亦阐述一种无气泡液体产生方法。