一种使用硫化锌掺镝(ZnS:Dy)薄膜的白光发光二极体之制程方法

摘要

一种白光发光二极体之制程方法被揭示以改善白光发光二极体之演色性、色彩均匀性与发光效率。其步骤包含：第一：磊晶成长一发光二极体元件。第二：以电子枪真空蒸镀系统制作一具一活化剂之硫化锌(ZnS)半导体膜于该本质发光二极体元件上以及第三：于该两个分离之半导体膜上分别形成一金属膜以作为接触电极，藉由镝(Dy)或氟氧化铽(TbOF)掺杂活化剂之加入可有效改善该硫化锌(ZnS)半导体膜与基板之介面特性。