可变同调光源及微影像撷取装置

摘要

一种可调同调光源，包括产生一雷射光束之帮浦雷射以及光参数振荡器，光参数振荡器包括一晶体，晶体在一特定雷射光束波长下可产生一输出曲线，输出曲线系根据晶体之周期性极化光栅周期决定一信号光和一闲置光之复数输出波长。晶体具有复数区段，复数区段与复数光栅周期之输出曲线相关，各复数区段具有不同晶体结构。其中至少一复数区段包括一晶体结构，晶体结构由至少两个上述光栅周期结合而成。一加热装置加热晶体至一工作温度，藉由调整工作温度以调整各区段之输出波长。