用以存放基板之装置

摘要

一种用以存放板形基板之装置，尤其主要用于制造电子元件之晶圆或测试晶圆，要在装置相互分离之支承元件有制造误差之情况下，仍可确切操作基板。该装置具多个在叠置方向上下相邻设置、相互可运动之基板支承元件，其中支承元件具叠置范围，以置放储存匣内之支承元件，因而建议设计补偿方法，以平衡叠置方向之叠置误差。