基板对位装置及基板收容单元

摘要

本发明的课题是在于提供一种在装载锁定室等之收容基板的容器内，可极力缩小基板周围的空间来进行基板的对位之基板对位装置。其解决手段系基板对位装置具备：一对的第1定位器7，其系推压与基板S的搬送方向正交的一对端面S1；及一对的第2定位器8，其系推压沿着基板S的搬送方向的一对端面S2；又，第1及第2定位器7、8系分别具有汽缸机构71、81、及藉由汽缸机构71、81的活塞74、84的进出来推压端面S1、S2的推压子70、80，第1定位器7更具有：藉由活塞74进出来使推压子70移动于令退避于基板S的搬送路径外的退避位置与可推压基板S的可推压位置之间，且于可推压位置使移动于推压方向之驱动力变换机构部72。