| 摘要 |
系统及方法系提出以成像一平面镜状物体(102)，诸如：半导体晶圆。于实施例中，用于成像于一平面镜状物体(102)的缺陷之一种成像系统(100)系包括一远心透镜(110)，其具有一充分非球面表面，俾使远心透镜(110)系实质修正一光学像差。成像系统(100)亦包括一远心光圈(116)，于其包括一孔径，以阻断自平面镜状物体(102)所反射的光线而允许自缺陷所反射的光线为通过孔径。成像系(100)更包括一透镜群组(108)，其具有定位于远心光圈(116)与透镜群组(108)之间的一系统光圈。透镜群组(108)系无关于远心透镜(110)而实质修正光学像差。 |
