薄片切断装置及其切断方法

摘要

本发明提供一种：在将薄片S张贴于张贴工作台13上的晶圆W后，沿着晶圆的外缘切断该薄片S的切断装置15。该切断装置15具备：配置于张贴工作台13侧边的机器人本体62；及藉由位于该机器人本体62前端的工具保持夹头69而被支承的切刃63。切刃63可自由装卸地位于工具保持夹头69，并设成可以更换，且形成在沿着预先设定的移动轨迹而姿势调整的状态下执行薄片S的切断。