发明名称 改善资料一致性的物料搬运系统和处理方法
摘要 一种改善资料一致性的自动化物料搬运系统。将一半导体产品在自动化物料搬运系统中的行为及生命周期模组化为有限状态及触发路径的集合。当半导体产品的传送状态沿着触发路径自第一有限状态转变为第二有限状态时,则产生相应第二有限状态之触发事件。设定一等待时间,若第一有限状态为一暂时状态,则其必须于该等待时间内转变为第二有限状态。接着,验证产生的触发事件是否符合或违反预设之管制规则(control rules),若侦测到任何触发事件遗失或延误,则制造执行系统与自动化物料搬运系统透过讯息交换进行传送资讯的同步化。
申请公布号 TWI282072 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW094125905 申请日期 2005.07.29
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 蓝文正
分类号 G06Q90/00(2006.01) 主分类号 G06Q90/00(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种改善资料一致性的物料搬运系统之处理方 法,其使用于一物料搬运系统中,用以提高一制造 执行系统及上述物料搬运系统间之资料一致性,包 括下列步骤: 模组化一产品于上述物料搬运系统中之行为及生 命周期,从而取得一第一有限状态、一第二有限状 态及一触发路径;以及 当上述产品之传送状态沿着上述触发路径自上述 第一有限状态转变为上述第二有限状态,产生相应 上述第二有限状态之触发事件; 其中,若上述第一有限状态为一暂时状态,必须于 一等待时间内转变为上述第二有限状态。 2.如申请专利范围第1项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其更包括下列步骤: 设定一旗标,上述旗标随着上述第一有限状态转变 为上述第二有限状态而改变。 3.如申请专利范围第1项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,若上述第一有限 状态为一稳定状态,则不需设定上述等待时间。 4.如申请专利范围第1项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,上述第一有限状 态或上述第二有限状态包括下列属性:状态识别码 (state ID)、状态序列号码(state sequence number)、可能 下一状态(possible next state)、每一下一状态之相应 触发事件、等待时间値(Q-time value)。 5.如申请专利范围第1项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,产生相应上述第 二有限状态之触发事件之步骤中,上述触发事件产 生于一触发点。 6.一种改善资料一致性的物料搬运系统之处理方 法,其使用于一物料搬运系统中,用以提高一制造 执行系统及上述物料搬运系统间之资料一致性,包 括下列步骤: 模组化一产品于上述物料搬运系统中之行为及生 命周期,从而取得一第一有限状态、一第二有限状 态及一触发路径; 当上述产品之传送状态沿着上述触发路径自上述 第一有限状态转变为上述第二有限状态,产生相应 上述第二有限状态之触发事件; 验证上述触发事件是否符合或违反一预设之管制 规则;以及 根据上述验证结果进行上述制造执行系统与上述 物料搬运系统间之传送资料的同步化; 其中,若上述第一有限状态为一暂时状态,必须于 一等待时间内转变为上述第二有限状态。 7.如申请专利范围第6项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其更包括下列步骤: 设定一旗标,上述旗标随着上述第一有限状态转变 为上述第二有限状态而改变。 8.如申请专利范围第6项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,若上述第一有限 状态为一稳定状态,则不需设定上述等待时间。 9.如申请专利范围第6项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,上述第一有限状 态或上述第二有限状态包括下列属性:状态识别码 、状态序列号码、可能下一状态、每一下一状态 之相应触发事件、等待时间値。 10.如申请专利范围第6项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,产生相应上述第 二有限状态之触发事之步骤中,上述触发事件产生 于一触发点。 11.如申请专利管围第6项所述之改善资料一致性的 物料搬运系统之处理方法,其中,进行同步化之步 骤中,上述制造执行系统根据上述验证结果取得上 述传送资料,并且透过讯息交换与上述物料搬运系 统进行同步化。 12.如申请专利范围第11项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统之处理方法,其中,上述讯息交换 遵循一半导体设备通信标准协定。 13.一种改善资料一致性的物料搬运系统,其用以提 高一制造执行系统及一物料搬运系统间之资料一 致性,包括: 一资料模组化单元,其用以模组化一产品于上述物 料搬运系统中之行为及生命周期,从而取得一第一 有限状态、一第二有限状态及一触发路径;以及 一资料处理单元,耦接于上述资料模组化单化,其 用以当上述产品之传送状态延着上述触发路径自 上述第一有限状转变为上述第二有限状态,产生相 应上述第二有限状态之触发事件,若上述第一有限 状态为一暂时状态,必须于一等待时间内转变为上 述第二有限状态。 14.如申请专利范围第13项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,若上述第一有限状态为一 稳定状态,则不需设定上述等待时间。 15.如申请专利范围第13项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述第一有限状态或上述 第二有限状态包括下列属性:状态识别码、状态序 列号码、可能下一状态、每一下一状态之相应触 发事件、等待时间値。 16.如申请专利范围第13项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述触发事件产生于一触 发点。 17.一种改善资料一致性的物料搬运系统,其用以提 高一制造执行系统及一物料搬运系统间之资料一 致性,包括: 一资料模组化单元,其用以模组化一产品于上述物 料搬运系统中之行为及生命周期,从而取得一第一 有限状态、一第二有限状态及一触发路径; 一资料处理单元,其用以当上述产品之传送状态延 着上述触发路径自上述第一有限状态转变为上述 第二有限状态,产生相应上述第二有限状态之触发 事件,若上述第一有限状态为一暂时状态,必须于 一等待时间内转变为上述第二有限状态;以及 一资料同步化单元,其用以验证上述触发事件是否 符合或违反一预设之管制规则,并且根据上述验证 结果进行上述制造执行系统与上述物料搬运系统 间之传送资料的同步化。 18.如申请专利范围第17项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,利用上述资料处理单元设 定一旗标,上述旗标随着上述第一有限状态转变为 上述第二有限状态而改变。 19.如申请专利范围第17项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,若上述第一有限状态为一 稳定状态,则不需设定上述等待时间。 20.如申请专利范围第17项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述第一有限状态或上述 第二有限状态包括下列属性:状态识别码、可能下 一状态、每一下一状态之相应触发事件、等待时 间値。 21.如申请专利范围第17项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述触发事件产生于一触 发点。 22.如申请专利范围第17项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述制造执行系统根据上 述验证结果取得一传送资料,并且过讯息交换与上 述物料搬运系统进行同步化。 23.如申请专利范围第22项所述之改善资料一致性 的物料搬运系统,其中,上述讯息交换遵循一半导 体设备通信标准协定。 图式简单说明: 第1图系显示本发明之改善资料一致性的物料搬运 系统使用等待时间有限状态确认机制之示意图。 第2图系显示本发明之改善资料一致性的物料搬运 系统之架构图。 第3图系显示本发明之改善资料一致性的物料搬运 系统之处理方法之步骤流程图。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号