发明名称 整合被动元件在堆叠晶粒中的间隔器上
摘要 本发明的一实施例系为将被动元件整合在一晶粒组件中的技术。一电容器、电感器或电阻器被整合在介于堆叠晶粒中的上层与下层晶粒之间的一阻隔器上。多数导体被黏附至该电容器、电感器或电阻器,用以将该电容器、电感器或电阻器电性地连接至该些上层与下层晶粒的至少之一。
申请公布号 TWI282131 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW093140040 申请日期 2004.12.22
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 姜俊;喀拉达 瑞达克里斯能;莎玛拉 齐喀曼那哈里
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种形成晶粒组件的方法,包含: 将一电容器整合在介于复数个堆叠晶粒中的上层 与下层晶粒之间的一间隔器上;以及 接附复数个导体,用以将该电容器电性地连接至该 些上层与下层晶粒的至少之一, 其中该接附步骤包含: 接附复数个凸块,用以将该电容器电性地连接至该 些上层与下层晶粒的至少之一。 2.如申请专利范围第1项所述之方法,更包含充填黏 剂在介于该间隔器与该上层晶粒之间,以及介于该 间隔器与该下层晶粒之间。 3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该整合步 骤包含: 整合该电容器,且该电容器系为具有一介电材料的 一薄膜电容器。 4.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该整合步 骤包含: 整合该电容器,且该电容器具有本质上小于该间隔 器厚度的一厚度。 5.如申请专利范围第4项所述之方法,其中该整合步 骤包含: 整合该电容器,且该电容器具有介于50埃至200埃之 间的该厚度。 6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该整合步 骤包含: 整合该电容器,且该电容器具有一至少为100 nF的电 容。 7.如申请专利范围第1项所述之方法,更包含充填黏 剂在该下层晶粒至一封装基底之间。 8.一种间隔器组件,包含: 一电容器,系被整合在介于复数个堆叠晶粒中的上 层与下层晶粒之间的一间隔器上;以及 复数个导体,系被黏附至该电容器用以将该电容器 电性地连接至该些上层与下层晶粒的至少之一, 其中该复数个导体包含: 复数个凸块,系被黏附至该电容器用以将该电容器 电性地连接至该些上层与下层晶粒的至少之一。 9.如申请专利范围第8项所述之间隔器组件,更包含 复数个黏着层,系被充填于介于该间隔器与该上层 晶粒之间,以及介于该间隔器与该下层晶粒之间。 10.如申请专利范围第8项所述之间隔器组件,其中 该电容器系为具有一介电材料的一薄膜电容器。 11.如申请专利范围第8项所述之间隔器组件,其中 该电容器具有本质上小于该间隔器厚度的一厚度 。 12.如申请专利范围第11项所述之间隔器组件,其中 该电容器具有介于50埃至200埃之间的该厚度。 13.如申请专利范围第8项所述之间隔器组件,其中 该电容器具有一至少为100 nF的电容。 14.如申请专利范围第8项所述之间隔器组件,其中 该下层晶粒藉由介于该下层晶粒与该封装基底之 间的一黏剂,而被黏附至一封装基底。 15.一种晶粒组件,包含: 一封装基底; 复数个堆叠晶粒,系位于该封装基底上且至少具有 一上层晶粒以及一下层晶粒;以及 至少一间隔器组件,系介于该些上层与下层晶粒之 间,该间隔器组件包含: 一电容器,系被整合在介于该些上层与下层晶粒之 间的一间隔器上;以及 复数个导体,系被黏附至该电容器用以将该电容器 电性地连接至该些上层与下层晶粒的至少之一, 其中该复数个导体包含: 复数个凸块,系被黏附至该电容器用以将该电容器 电性地连接至该些上层与下层晶粒的至少之一。 16.如申请专利范围第15项所述之晶粒组件,其中该 间隔器组件更包含复数个黏着层,系被充填于介于 该间隔器与该上层晶粒之间,以及介于该间隔器与 该下层晶粒之间。 17.如申请专利范围第15项所述之晶粒组件,其中该 电容器系为具有一介电材料的一薄膜电容器。 18.如申请专利范围第15项所述之晶粒组件,其中该 电容器具有本质上小于该间隔器厚度的一厚度。 19.如申请专利范围第18项所述之晶粒组件,其中该 电容器具有介于50埃至200埃之间的该厚度。 20.如申请专利范围第15项所述之晶粒组件,其中该 电容器具有一至少为100 nF的电容。 21.如申请专利范围第15项所述之晶粒组件,该下层 晶粒藉由介于该下层晶粒与该封装基底之间的一 黏剂,而被黏附至一封装基底。 图式简单说明: 第1图系说明本发明一实施例可以实行的一晶粒组 件; 第2图系说明根据本发明一实施例的一间隔器组件 ; 第3图系说明根据本发明一实施例的一薄膜电容器 之布局; 第4图系说明根据本发明一实施例的一薄膜电感器 之布局; 第5图系为一流程图,用以说明根据本发明一实施 例将薄膜被动元件整合至晶粒组件的制程;以及 第6图系说明根据本发明一实施例的一薄膜电阻器 之布局。
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