| 主权项 |
1.一种应用于阳极接合技术之电极,该电极系为一 加热阳极及一阴极,在该加热阳极与该阴极之间置 放一基板与一玻璃,利用该加热阳极之加热及该加 热阳极与该阴极之间施加高电压使而该基板与该 玻璃接合在一起,其特征在于: 根据该基板与该玻璃欲接合所形成的几何面,该阴 极系以条状导电体自几何面的中心点开始向外周 边环绕而形成螺旋状之该几何面之电极。 2.如申请专利范围第1项所述之电极,其中,该阴极 具有弹性伸缩的特性,藉由一升降机构固持该阴极 ,而使其中心点导电体自然垂下以接触该玻璃,依 据该基板与该玻璃之接面形成离子链结所需的速 度,该升降机构以一预定下降速度使该阴极自其中 心点导电体依往外周边环绕之导电体的螺旋状路 径顺序地接触该玻璃。 3.如申请专利范围第1项所述之电极,其中,该基板 系为一矽基板,该玻璃系为一派莱克斯玻璃。 4.如申请专利范围第1项所述之电极,其中,该几何 面系为圆形、椭圆形及方形其中一者之盘形形状 。 图式简单说明: 图1为习知矽基板与玻璃利用阳极接合技术来实施 接合的示意图; 图2为本创作使用阳极接合技术之机台的示意图; 图3A为本创作螺旋状弹性伸缩电极之平面图;以及 图3B为本创作螺旋状弹性伸缩电极自然垂下之侧 视图。 |
