| 主权项 |
1.一种工件搬运装置,其特征为: 具备:载置台底基、及可旋转自如地配置于载置台 底基上且在外周缘设有复数工件收纳沟的搬运载 置台, 在接近载置台底基的搬运载置台的面,设有通过真 空配管与真空发生源连通的环状负压沟, 在接近搬运载置台的载置台底基的面设有可连通 各工件收纳沟及环状负压沟的吸引沟, 在吸引沟,设有与气侧连通的大气给气手段。 2.如申请专利范围第1项的工件搬运装置,其中,大 气给气手段,是具有:被设置于载置台底基且与吸 引沟连通的环状大气沟、及连通环状大气沟及大 气侧的第1大气导入孔。 3.如申请专利范围第1项的工件搬运装置,其中,大 气给气手段,是具有:被设在搬运载置台且可连通 吸引沟及大气侧的第2大气导入孔。 4.如申请专利范围第1项的工件搬运装置,其中,大 气给气手段,是具有:连接于真空配管,且与大气侧 连通的大气导入管。 5.如申请专利范围第4项的工件搬运装置,其中,将 流量调整手段设在大气导入管。 图式简单说明: [第1图]本发明的工件搬运装置的一实施例的图。 [第2图]如第1图所示的工件搬运装置的部分剖面图 。 [第3图]本发明的工件搬运装置的变形例的部分剖 面图。 [第4图]本发明的工件搬运装置的其他的变形例的 部分剖面图。 [第5图]习知的工件搬运装置的部分剖面图。 [第6图]对于工件装填率的吸引压力的例的图。 |
