自含式修整研磨物件

摘要

本发明提供一种用于抛光一具有一硬度之工件的固定研磨物件，该固定研磨物件包含(a)一具有第一表面及第二表面之基板；(b)一分布于该基板之第一表面上之研磨复合物的区域；及(c)一分布于该基板之第一表面上之修整汞齐的区域。该等研磨复合物包括一复合黏合剂及第一硬度之研磨颗粒，此第一硬度高于该工件之该硬度。该等汞齐包括一易受侵蚀之黏合剂及足以修整该复合黏合剂且具有第二硬度之修整颗粒，此第二硬度小于该工件之该硬度且大于该复合黏合剂之硬度。本发明亦提供其他研磨物件及其制造方法。