低温沈积氧化锌的方法及其所形成的产品

摘要

本发明揭示一种电浆强化化学气相沈积(PECVD)方法，其系用于玻璃及例如塑胶及聚合物等的温敏性材料上低温沈积具有优异的光学与电气性质之n-型及p-型氧化锌为底的透明导电氧化物(TCOs)。明确地说，其揭示一种PECVD方法，其系用于藉由掺杂硼或氟而在用于TCO应用的玻璃及例如塑胶及聚合物等的温敏性材料上沈积具有优异的光学与电气性质之n-型氧化锌及藉由掺杂氮而沈积p-型氧化锌。该方法使用挥发性锌化合物、充当稀释气体的氩气及/或氦气、充当氧化剂的二氧化碳及掺杂物或反应物的混合物来沈积预期之氧化锌为底的TCOs。