SiOx:Si溅镀靶材及制造与使用此等靶材之方法

摘要

本发明系关于在一保护性环境下接合氧化矽及导电性掺杂矽材料以产生一SiOx：Si复合材料，该复合材料显示出SiOx之性质，且归因于Si之存在而具有导电性。此复合材料用作DC及/或AC溅镀制程之靶材以产生用于触碰萤幕应用之氧化矽薄膜、在LCD显示器中之障壁薄膜及广泛用于多种应用中之光学薄膜。