汽相沈积装置及方法

摘要

本发明揭示一种用于将一层沈积至一基板上之方法，其包含将一蒸发器加热至能够完全蒸发待沈积之蒸发剂之温度；将一或多个量化单位之完全汽化之该蒸发剂配送至该蒸发器中；在汽化该蒸发剂之前、期间或之后，将一载气流引入该蒸发器中以便产生该载气与该蒸发剂之蒸汽之一混合物流；及将该混合物流引导至该基板之表面上以形成该层。