真空蒸镀装置及真空蒸镀方法

摘要

本发明系关于一种真空蒸镀装置，其包括一真空腔、一喷头、一供气管、一扩散装置及一工作台，该喷头与该工作台于该真空腔内相对设置，该喷头具有复数导气孔，该供气管与该导气孔相连通，该扩散装置固定于该喷头上。本发明还提供一种采用上述蒸镀装置之真空蒸镀方法。