保持装置、组装系统、溅镀装置、以及加工方法及加工装置

摘要

本发明提供一种保持装置，其电磁夹头(20)，由于系对复数个微线圈(MC)中之特定微线圈供应电流，与物体(M)之磁铁相互作用以将电磁力作用于物体(M)，因此能在将物体(M)定位于基座面上之所欲位置(对应已供应电流之微线圈的位置)的状态下加以保持。又，由于能藉由从气体供应路(42)喷出之气体对物体(M)赋予浮力，因此在定位物体(M)时，能降低作用在物体(M)与电磁夹头上面之间之摩擦力的影响。