利用非牛顿流体来清洗基板的方法与设备

摘要

一种基板之清理方法。在此方法中，提供非牛顿流体之流动，其中该流动的至少一部份呈现塞流状态。为了将微粒自基板表面移除，将该基板之该表面置放成与呈现塞流之该流动之该部分相接触，俾使呈现塞流之该流动之该部分在基板表面上移动。同时揭露清理基板之额外方法与设备。