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发明名称
图案形成方法、膜构造体、光电装置及电子机器
摘要
本发明可以高对准精度形成图案。本发明之图案形成方法系利用对准标记AM在基板P上之隔墙B1间配置含图案形成材料之液体材料而形成图案80。包含:在图案80之形成前,形成对应于对准标记AM之标记用隔墙B1之步骤;及在标记用隔墙B1之间配置含对准标记形成材料之液体材料之步骤。
申请公布号
TW200721279
申请公布日期
2007.06.01
申请号
TW095138597
申请日期
2006.10.19
申请人
精工爱普生股份有限公司
发明人
平井利充;守屋克之;稻垣显
分类号
H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01);H01L29/786(2006.01)
主分类号
H01L21/288(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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