发明名称 图案形成方法、膜构造体、光电装置及电子机器
摘要 本发明可以高对准精度形成图案。本发明之图案形成方法系利用对准标记AM在基板P上之隔墙B1间配置含图案形成材料之液体材料而形成图案80。包含:在图案80之形成前,形成对应于对准标记AM之标记用隔墙B1之步骤;及在标记用隔墙B1之间配置含对准标记形成材料之液体材料之步骤。
申请公布号 TW200721279 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW095138597 申请日期 2006.10.19
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 平井利充;守屋克之;稻垣显
分类号 H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01);H01L29/786(2006.01) 主分类号 H01L21/288(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本