加热单元及具备其之半导体制造装置

摘要

本发明提供一种可使致冷开始至致冷结束期间的温度分布更均匀之陶瓷加热器。又，加热器之致冷中所使用之致冷模组于使用时不会产生流体之泄漏，即便长期使用致冷能力亦不会下降而可维持性能，并可降低制造成本。本发明之陶瓷加热器之特征在于包含陶瓷制加热体(2)、以及致冷加热体(2)的致冷模组(3)，且致冷模组(3)含有于形成于板状构造物(4)之沟中配置有导管(7)之构造。