可移动传送室及包含此可移动传送室之基板处理装置

摘要

一种基板处理装置包括：至少一个加工腔室，其处理一基板；可移动转移腔室，其可邻近加工腔室进行移动；驱动构件，其移动可移动转移腔室；及连接构件，其组合并分离加工腔室及可移动转移腔室。