发明名称 表面凹凸之制作方法
摘要 提供一使用光遮罩,简单并可高度精密地形成所期望凹凸形状之表面凹凸制作方法。在由感光性树脂组成物所形成的感光膜之其中一侧,将具备光透过部与光不透过部之遮罩部件,对感光膜保持间隔地配置,从配置在遮罩部件侧之光源来照射光,通过遮罩部件之光透过部,将感光膜曝光,再藉着显像来除去感光膜之曝光部份或未曝光部份,在感光膜上制作由曝光部或未曝光部之形状决定的凹凸。并且在曝光之际,控制光源与遮罩部件遮光面的距离L,光源大小D,遮罩部件与感光膜间的光学距离T等曝光条件,来控制曝光部或未曝光部之形状。
申请公布号 TW200720835 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW095136742 申请日期 2006.10.03
申请人 木本股份有限公司 发明人 饵取英树
分类号 G03F1/06(2006.01);G03F1/08(2006.01);G02B1/12(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F1/06(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本