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发明名称
表面凹凸之制作方法
摘要
提供一使用光遮罩,简单并可高度精密地形成所期望凹凸形状之表面凹凸制作方法。在由感光性树脂组成物所形成的感光膜之其中一侧,将具备光透过部与光不透过部之遮罩部件,对感光膜保持间隔地配置,从配置在遮罩部件侧之光源来照射光,通过遮罩部件之光透过部,将感光膜曝光,再藉着显像来除去感光膜之曝光部份或未曝光部份,在感光膜上制作由曝光部或未曝光部之形状决定的凹凸。并且在曝光之际,控制光源与遮罩部件遮光面的距离L,光源大小D,遮罩部件与感光膜间的光学距离T等曝光条件,来控制曝光部或未曝光部之形状。
申请公布号
TW200720835
申请公布日期
2007.06.01
申请号
TW095136742
申请日期
2006.10.03
申请人
木本股份有限公司
发明人
饵取英树
分类号
G03F1/06(2006.01);G03F1/08(2006.01);G02B1/12(2006.01);G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03F1/06(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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