| 摘要 |
本发明系揭示有关即使是大面积具有尺寸小的多数个被检查电极的晶圆，还是可确实地达成所要的电性连接，确实地进行精度高的电阻测定，可以小成本来制造之晶圆检查用探针卡、及使用该晶圆检查用探针卡的晶圆检查装置及方法。探针卡系具有：第1电极薄片、及配置于该表面的第1向异导电性薄片、及配置于第1电极薄片的背面，对应于被检查电极而形成有贯通孔的第2向异导电性薄片、及配置于该背面的第2电极薄片，且第1电极薄片系具有：对应于被检查电极而形成有贯通孔的柔软绝缘性薄片、及在绝缘性薄片的表面形成包含贯通孔的复数个环状电极，及形成于绝缘性薄片背面的中继电极，第2电极薄片系具有：对应于被检查电极而配置的复数个检查用核心电极、及对应于中继电极而配置的复数个连接用核心电极。 |
