真空处理装置之静电吸盘及其制造方法

摘要

一种真空处理装置之静电吸盘，其包含有一主基板，其具有多个突起物；一绝缘层，系形成于主基板上；一静电层，系形成于绝缘层上，并藉由一接收之电源而产生静电力；以及一介电层，系形成于静电层上。突起物具有多种形状且制造制程简单且稳定，对于大型基板之静电吸盘的制造亦同样地简单稳定。