光阻组成物之制造方法、过滤装置、光阻组成物之涂布装置及光阻组成物

摘要

本发明系提供：可制得能抑制缺陷产生之光阻组成物之光阻组成物之制造方法、可适用于该制造方法之过滤装置、装载有该过滤装置之光阻组成物之涂布装置、及能抑制缺陷产生之光阻组成物。该组成物，系将可藉酸之作用改变硷可溶性之树脂成分、与可藉曝光产生酸之酸产生剂成分，溶解于有机溶剂形成光阻组成物，并使该光阻组成物通过具备聚乙烯制之空心丝膜之过滤器，藉此以制得。