高发光效率之发光元件之制造方法

摘要

一种高发光效率之发光元件制造方法，包含利用一雷射光束照射一含半导体发光元件之晶圆以将晶圆切割成晶片再以湿式酸蚀刻方式清除雷射光束切割时所产生之副产物(byproduct)。