处理气体之方法

摘要

本发明系关于一种处理自一处理腔室排出之气体之方法，其中该废气传输至一真空泵且氮冲洗气添加至该废气以与该废气一起泵送。自该泵排出之气体输送至一用于消减该废气之消减设备中。添加至该废气之冲洗气之量系回应于该废气之组成之变化或供应至该处理腔室之气体之组成之变化来调节以最优化该废气之消减。