发明名称 Heterodyne laserinterferometer met porroprisma's voor meting van trapverplaatsing.
摘要
申请公布号 NL1029522(C2) 申请公布日期 2007.06.01
申请号 NL20051029522 申请日期 2005.07.14
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES INC. A DELAWARE CORPORATION 发明人 W. CLAY SCHLUCHTER;L. HAKCHU LEE
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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