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发明名称
COMBINED SPATIAL FILTER AND RELAY SYSTEMS IN ELLIPSOMETERS AND POLARIMETERS
摘要
Low aberration relay systems modified to perform as spatial filters in reflectometer, spectrophotometer, ellipsometer, polarimeter and the like systems.
申请公布号
WO2007061460(A2)
申请公布日期
2007.05.31
申请号
WO2006US29668
申请日期
2006.07.30
申请人
J.A. WOOLLAM CO., INC.
发明人
分类号
G01J4/00
主分类号
G01J4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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