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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionsmessung eines Objektes (30) mit mindestens einem Laser-Interferometersystem (29) zur Bestimmung einer Positionsverschiebung des Objektes (30) in mindestens einer Raumrichtung, wobei das mindestens eine Laser-Interferometersystem (29) zusammen mit dem Objekt (30) in einem Klimaraum (40) untergebracht ist, der einen Bereich (42) mit Zuluftöffnungen und einen Bereich (44) mit Abluftöffnungen aufweist, wobei vorgeschlagen wird, Mittel vorzusehen, um im Betrieb zumindest einen Teil der durch den Klimaraum (40) verlaufenden Strömung (46) auf den Bereich der Laserachsen (52, 54) des mindestens einen Interferometersystems (29) zu lenken.
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