METHOD FOR PRODUCING A PLURALITY OF REGULARLY ARRANGED NANOCONNECTIONS ON A SUBSTRATE

摘要

Verfahren zur Erzeugung einer Mehrzahl regelmäßig angeordneter Nanoverbindungen auf einem Substrat unter Verwendung einer Risse bildenden elastischen Maskierungsschicht mit den Schritten Mikrostrukturieren der Maskierungsschicht zur Erzeugung von wenigstens einem definierten Gebiet mit Maskierung, über die sich die Nanoverbindungen erstrecken sollen, Erzeugen von Rissen in der Maskierungsschicht, Aufbringen des die Nanoverbindungen bildenden Materials wenigstens auf die Strukturen der Maskierungsschicht in die Risse sowie auf die nicht maskierten Regionen des Substrats, Entfernen der Maskierungsschicht mit dem darauf befindlichen Material, wobei das definierte Gebiet mit einem im wesentlichen rechteckigen Maskierungsstreifen bedeckt wird, über dessen Breite sich die Nanoverbindungen erstrecken sollen, wobei die Länge des Streifens größer als seine Breite ist, und durch Induzieren von Stress in dem Maskierungsstreifen ein eine Mehrzahl von Risslinien umfassendes, selbstorganisiert regelmäßiges Rissmuster erzeugt wird, so dass eine Mehrzahl regelmäßig angeordneter Nanoverbindungen über das wenigstens eine definierte Gebiet gebildet wird.